对于非制冷红外探测器来说,传统的封装类型主要是芯片级封装,通常采用金属或陶瓷管壳。主要工艺流程包括如下步骤:
1、硅晶圆上制备非制冷红外探测器的读出电路及敏感结构;
2、将制备好的晶圆切割成单个探测器芯片;
3、贴片、打线;
4、真空封盖。
上述3和4是针对单个芯片的。由于一个晶圆上可以切出上百个探测器芯片,因此,这种封装形式不仅效率低下而且成本高昂。目前,利用传统封装类型的非制冷红外探测器的封装成本占到了整个探测器成本的90%。
非制冷红外探测器的成本居高不下,封装是个很重要的原因。因此,要实现非制冷红外探测器的大批量应用,必须降低非制冷红外探测器的成本,首先就必须降低封装的成本。