热红外探测器的探测率与光子探测器约有2个数量级之差,可从两个方面提高温度灵敏度,一个途径是尽量延伸器件光谱响应的长波限。低温工作的光子探测器长波限较短。如碲镉汞面阵(77K)的长波限不超过9.5微米,长波限达11微米的碲镉汞面阵需要致冷至70K,致冷功率较大。
原理上讲,热红外探测器应当有相当宽的光谱响应范围,延伸至14微米以上并无困难,主要困难在于探光敏材料在长波段的吸收率。
ML073光敏材料为非晶硅,在热红外波段吸收率并不高。从因此,在光敏元与R=100%反射器之间设置了λ/4的间隔,起到抗反射效果。设计的间隔可保证对12微米长波辐射的反射损失小于3%,在8-14微米波段有较均匀的高吸收率。由于干涉效应,小于4微米的波段的光谱响应起伏很大。器件窗口已镀短波截止滤光膜,滤除小于8微米的辐射。
提高红外探测器系统温度灵敏度另一个办法是选用低F数的光学系统。光子探测器为减少背景噪声,都需要设置冷屏。受到杜瓦尺寸限制,接收孔径角不能很大,因此系统F数都比较大。而室温焦平面面阵无此类限制,目前商用系统配F/0.8红外镜头,NETD约80-100mK。
虽然,与致冷光红外探测器面阵的热象仪NETD达25-40mK相比,温度灵敏度较低,但室温焦平面面阵有价格低、可靠性高、功耗省等优点,这些都是低温工作的光子探测器所不具备的。